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TC-GL-1二探針單晶硅及多晶硅測試儀
二探針單晶硅及多晶硅測試儀
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二探針單晶硅及多晶硅測試儀 型號:TC-GL-1
本儀器主要用于測量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況,以便硅材料的切割和加工。
為適應(yīng)大規(guī)模集成電路的迅猛發(fā)展,特別是計算機(jī)芯片、內(nèi)存的發(fā)展,越來越多的使用到了大直徑、高純度、均勻度更高的單晶硅材料。目前,在美國、德國等*的工業(yè),均采用了二探針法,使用二探針檢測儀來測量大直徑單晶硅的電阻率分布情況。
二探針單晶硅及多晶硅測試儀 儀器符合美國ASTM 《“F391-77”關(guān)于二探針測量硅單晶試驗(yàn)方法》的標(biāo)準(zhǔn),是一種新型的半導(dǎo)體電阻率測試儀,適合半導(dǎo)體材料廠和器件廠用于二探針法精確測量單晶硅和多晶硅半導(dǎo)體棒狀材料的體電阻率,從而進(jìn)一步判斷半導(dǎo)體材料的性能,指導(dǎo)和監(jiān)視工藝操作,也可以用來測量金屬材料的電阻,儀器具有測量精度高、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便、造型美觀等特點(diǎn)。也可以配四探針測試頭作常規(guī)的四探針法測量硅晶體材料。
儀器分為儀表電氣控制箱、測試臺、探頭三部分,儀表電氣控制箱由高靈敏度直流數(shù)字電壓表、高抗干擾高隔離性能的電源變換裝置、高穩(wěn)定高精度恒流源和電氣控制部分組成。測量結(jié)果由大型LED數(shù)字顯示,零位穩(wěn)定、輸入阻抗高,并設(shè)有自校功能。在棒狀材料使用二探針法測試時,具有系數(shù)修正功能,從面板輸入相應(yīng)的修正系數(shù),可以直接讀出電阻率,使用方便。測試臺結(jié)構(gòu)新穎,造型美觀,可以方便地固定好大小任意尺寸的樣品,并可以作逐點(diǎn)選擇步進(jìn)測量,也可以自由選擇固定位置測量,電活動自如,具備鎖定裝置,方便重復(fù)測量。另外還配置了二處記錄板和轉(zhuǎn)椅,測試探頭能自動升降,探針為碳化鎢材料,配置寶石軸承,具有測量精度高、游移率小、耐磨、使用壽命長特點(diǎn)。同時探頭壓力恒定并且可調(diào)整,以適合不同的材料。
儀器主要技術(shù)指標(biāo):
1.可測硅材料尺寸:
直徑Φ25~Φ150mm滿足ASTM F-397的技術(shù)要求。
長度:100~1100mm.
2.測量方式:軸向測量,每隔10mm測量一點(diǎn)。
3.測量電阻率范圍:10-3~103Ω-cm,可擴(kuò)展到105Ω-cm。
4.數(shù)字電壓表:
(1)量 程:0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V
(2)測量誤差:±0.3%讀數(shù)±2字
(3)輸入阻抗:0.2mV和2mV檔>106Ω
20mV檔及以上>108Ω
(4)顯 示:31/2位LED數(shù)字顯示,范圍0~1999。
5.恒流源:
(1)電流輸出:直流電流0~100mA連續(xù)可調(diào)。
(2)量 程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
(3)電流誤差:±0.3%讀數(shù)±2字
6.二探針測試裝置:
(1)探針間距:4.77mm
(2)探針機(jī)械游移率:0.3%
(3)探針壓力:0~2kg可調(diào)
(4)測試探頭自動升降
7.二探針測試臺
(1)測試硅單長度:100-1100mm
(2)測試點(diǎn)間距:10mm
(3)測試臺有慢、快二種移動速度,快速移動速度為1000mm/分(均勻
手動)
8.電源:交流220V±10%,50HZ±2HZ,消耗功率<150W
![]() | 產(chǎn)品名稱:無菌均質(zhì)器 產(chǎn)品型號:BM-460 |
無菌均質(zhì)器 型號:BM-460
BM-460無菌均質(zhì)器產(chǎn)品說明:
應(yīng)用領(lǐng)域:食品微生物分析;動物組織、生物樣品、化妝品的均質(zhì)處理;肉、魚、蔬菜、水果、餅干;藥品的微生物分析等。
BM-460無菌均質(zhì)器主要特征:
●踏板壓印功能,使得粉碎更加細(xì)致 。
●箱門:四塊強(qiáng)化透明窗口,可確認(rèn)粉碎運(yùn)行程度。
●窗口傳感器功能(箱門手柄:start/stop功能,未關(guān)緊時紅燈亮起)。
●LED指示燈便于檢查內(nèi)部均質(zhì)情況
●踏板距離調(diào)節(jié)功能:厚/薄樣品均可全部粉碎
●提示功能:(粉碎完成后,自動發(fā)出蜂鳴聲)
●通過LCD確認(rèn)運(yùn)行狀態(tài)、速度、時間的功能
●均質(zhì)開始時,綠燈閃爍。
●均質(zhì)結(jié)束時,紅燈亮起?!?nbsp;
BM-460無菌均質(zhì)器技術(shù)參數(shù):
★有效容積:3~400ml
★規(guī)格:W280*D440*H260mm
★拍擊間距:0~50mm可調(diào)
★觀察窗:4個
★壓印踏板:2塊
★整機(jī)重量:18Kg
★速度調(diào)節(jié):1~10級
★發(fā)動機(jī)速度自動調(diào)節(jié)功能
1:可連讀& 1秒~60分鐘,自由調(diào)節(jié) :
2:實(shí)現(xiàn)分:秒或小時:分等單位選擇(可在內(nèi)部進(jìn)行變更)
3:Timer運(yùn)行完成時,發(fā)出蜂鳴聲(可調(diào)節(jié)時間)
4:停電恢復(fù)時,按照剩余時間運(yùn)行(時間記憶功能:每2分鐘儲存一次)
電熱鼓風(fēng)干燥箱 型號:GZX-GF101-0-BS
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